图6  HZO外延膜结构及薄膜与衬底LSMO/STO的外延取向关系 ©2022TheAuthors表2. 多晶和外延HfO2薄膜铁电性能对比 ©2022TheAuthors五、新疆【成果启示】最后，新疆作者展望了HfO2铁电薄膜研究中仍存在的科学问题。

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